精密加工和超精密加工范畴

制造技术的发展已有几千年的历史，从石器时代、铜器时代、铁器时代到现代的高分子塑 料时代：从手工制作、机器制作到现代的智能控制自动化制作；同时，从一般精度加工、精密 加工到超精密加工，现在已达到广为流传的纳米加工境界，并逐渐接近加工精度和表面质量的 极限，代表了当前先进制造技术的一个重要方面。因此，精密加工和趄精密加工代表了加工精 度发展的不同阶段，由于生产制造技术的不断发展，划分的界味将随著历史进程而逐渐向前推 移，过去的精密加工对今天来说已是一般如工，其划分的界限是相对的，并且在具体的精度数 值上至今没有确切的定义。

当前，精密加工是指加工精度为1-0.1um、表面粗糙度为R0.1-0.01um的加工技术， 超精密加工是指加工误差小于0.1um，表面粗糙度小于R0.025um的加工技术，又称之为亚微米级加工。从稍密加工和趙精密加工的范味来看，它应该包括微細加工和趙徽细加I、先整加工和精 整加工等加工技术。

微细加工和超微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，它们是针对集成电路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切肩的大小来表示的，而不是像一榖尺寸那样， 用所加工尺寸与尺寸误差的值来表示。

光I整加工技术，一般是指降低表面粗糙度值和提高表面层力学及机械性质的加工方法，不 强调加工精度的提高。近年来，搗出了相对应的精整加工概念，强调了精度和表面质量两个方 面。但从光整加工和精整加工的概念上来说，含有毛刺加工方面。

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